الاسم | المواصفات | نتيجة التحليل |
H2O | ≤1.0 جزء في المليون | ≤1.0 جزء في المليون |
ح2 | ≤10 صفحات في الدقيقة | ≤10 صفحات في الدقيقة |
O2+Ar | ≤ 50 صفحة في الدقيقة | ≤ 50 صفحة في الدقيقة |
N2 | ≤ 900 جزء في المليون | ≤ 900 جزء في المليون |
CO2 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
NH3 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
لا | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
ملاحظة 2 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |