| الاسم | المواصفات | نتيجة التحليل |
| H2O | ≤1.0 جزء في المليون | ≤1.0 جزء في المليون |
| ح2 | ≤10 صفحات في الدقيقة | ≤10 صفحات في الدقيقة |
| O2+Ar | ≤ 50 صفحة في الدقيقة | ≤ 50 صفحة في الدقيقة |
| N2 | ≤ 900 جزء في المليون | ≤ 900 جزء في المليون |
| CO2 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
| NH3 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
| لا | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |
| ملاحظة 2 | ≤ 1.0 جزء في المليون | ≤ 1.0 جزء في المليون |