Modalità
Quota |
LH-800 | LH-1250 | LH-1416 | LH-1618 |
800*1000mm | 1200*1500 mm | 1400*1600 mm | 1600*1800 mm | |
Modalità di rivestimento e conferma principale |
Otto bersagli multi-arco |
Dodici target ad arco multiplo |
Quattordici bersagli ad arco multiplo |
Venti bersagli ad arco multiplo |
Alimentazione | Alimentazione ad arco elettrico, alimentazione filamento, alimentazione a polarizzazione pulsata | |||
Controllo del gas di processo | Flussometro di massa + valvola ceramica elettromagnetica | |||
Struttura della camera a vuoto |
Sportello con apertura laterale verticale, postposizione impianto pompa, doppio raffreddamento ad acqua |
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Sistema a vuoto |
Pompa molecolare +pompa radice +pompa meccanica(5.0*10 -5 Pa)
Pompa di diffusione +pompa radice +pompa meccanica(5.0*10 -4 Pa) |
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Temperatura di cottura del pezzo |
Temperatura normale a 350 centi-grado controllo PID, riscaldamento di radiazione. |
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Modalità di movimento del pezzo | Rotazione pubblica controllo di frequenza: 0-20 rotazioni al minuto | |||
Modalità di misurazione | Vacuometro composito con display numerico: Da atmosfera a 1.0*10 -5 Pa | |||
Modalità di controllo | Manuale/automatico/PC/PLC + HMI/PC quattro opzioni di modalità di controllo | |||
Nota | Possiamo progettare la dimensione dell'attrezzatura in base alle specifiche esigenze tecniche del cliente. |
Ulteriori informazioni sulla nostra macchina per spalmatura a vuoto, non esitate a contattare:
Persona di contatto : Mandy Liu