El nombre del producto | Trifluoruro de nitrógeno |
Tipo | La NF3 |
Pureza mín. | 5N |
Especificaciones del cilindro | 47L/470L |
Contens relleno (20?C) | 20kg / 200kg. |
Tipo de válvulas | DISS 640 |
Aplicaciones |
Semiconductor: el Plasma aguafuerte gas, se utilizan en seco de plasma
Proceso de grabado. |
El tamaño del cilindro | 43L | 47L | 440L/470L | ISO 20 pies | ISO 40 pies |
El peso de llenado | 20kg. | 20kg. | 300kg. | 4t | 8t |
La válvula del cilindro | CGA330 SIM640 JIS22R | CGA330 SIM640 JIS22R | CGA330 SIM640 JIS22R | DISS640 | DISS640 |