Modell KA500: serien med linjär skala i smal storlek Upplösning: 5um, 1um, 0,5um Upplösning: 5um, 1um, 0,5um Huvudfunktioner: Upplösning: 0,5/1/5/10um Noggrannhet: ±3/±5/±15 µm (20°C/66 °F) Gallerperioden: 20um Gallersystem: Det trans-missiva och infraröda optiska mätsystemet, den infraröda våglängden är 880 nm. Läshuvudet glidsystem: vertikalt eller 45°fem precisionslagningssystem



